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　　(一)潔淨室之定義 (供大家參考)化學濾網潔淨室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清淨室。「潔淨室」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔淨室最主要之作用在於控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「潔淨室」。

　　(二)潔淨室之等級世界各國均有自定規格，但普遍還是用

　　美國HEPA聯邦標准209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標准作介紹與相互比較。 209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公制單位，潔淨室等級

　　以‵M′字頭表示，如M1、M1。5、M2。5、M3…。。依此行推，配合國際公制單位之標准化，M字母後之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0。5(m之微塵粒子數無塵室設備工程目字以10的冪次

　　方表示，取指數為之，若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間除味濾網，則以1。5、2。5、3。5…。表示。美國聯邦標准FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制

　　，即以每立方公尺為單位，以0。1(m微粒子為計數標准。日本標准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，

　　以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

　　(三)潔淨室控管之項目

　　1。 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　活性碳濾網　2。 能防止微塵粒子之產生。

　　3。 溫度和濕度之控制。

　　4。 壓力之調節。

　　5。 有害氣體之排除。

　　6。 結構物與隔間之氣密性。

　　7。 靜電之防制。

　　8。 電磁干擾預防。

　　9。 安全因素之考慮。

　　10。 節能之考量。